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容积式流量计

在容积式流量计的内部，有一构成固定的大空间和一组将该空间分割成若干个已知容积的小空间的旋转体，如腰轮、皮膜、转筒、刮板、椭圆齿轮、活塞、螺杆等。旋转体在流体压差的作用下连续转动，不断地将流体从已知容积的小空间中排出。根据一定时间内旋转体转动的次数，即可求出流体流过的体积量。容积式流量计的理论流量计算公式：　

式中，qf为工况下的体积流量，m3/s；n为旋转体的流速，周/s；V为旋转体每转一周所排流体的体积，m3/周。

在标准状态下，容积式流量计的体积流量计算公式与速度流量计相同。气体容积式流量计属机械式仪表，一般由测量体和积算器组成，对温度和压力变化的场合则需配置压力计（传感器或变送器）、温度计（传感器或变送器）、流量积算仪（温压补偿）或流量计算机（温压及压缩因子补偿）。

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气体流量控制器概述

在传感器里进行模数转换积算器除了显示实际流量，也显示总消耗量。气体消耗计量的理想设计一套设备 – 多种气体一套 可以用于 3 种不同的气体或混合气体流量单位选择范围大在大量标准化和规范化的英制、美制和国际标准计量体系的流量单位 之间进行选择（带用户可以调节的基准条件）。

实际流量和总流量都可以通过集成菜单来选择计量单位密码保护为避免擅自改动设置，新一代 red-y compact 型设备的菜单可以用密码锁定。

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你对气体流量控制器了解多少？

注：单位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；单位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工艺气体，建议选择对应气体的质量流量控制器，以保证输入气体的稳定和计量；不同的工艺气体，分子大小不同、化学特性不同，使用同规格的质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。

如使用的是常规工艺气体，也可选择一种气体作为标准，只需保证流量稳定即可；但是对于H2、CF4等特殊气体，可燃具有腐蚀性的气体，必须使用的质量流量控制器。

实验型真空等离子清洗机机，通常对流量控制要求不是非常严格，纯手动操作的设备，也会选用手动浮子流量计。

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