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发布时间:2022-08-01 09:52:37
选择气体质量流量控制器和订货时应当注意什么?
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑***服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。质量流量控制器(MFC)除耐压之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。
除了气体种类,流量范围外准确度和接头形式也很重要,常见的接头形式有卡套接头和VCR接头,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。
使用气体质量流量控制器注意事项
1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置;
2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置, 假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回;
3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;,并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性,还要使用惰性气体对管路进行吹扫,然后再通腐蚀性气体,等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路,保证管路中不会残存腐蚀性气体。
4.怕在应用强腐蚀性、******及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。
5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热,保证MFC在不通气时,瞬时流量处于0的位置,如果不通气时,瞬时流量显示有一定的数值,表示传感器出现“零漂”现象,可以先对MFC进行调零处理,否则将影响MFC的精度。
什么是气体质量流量控制器?
气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
气体质量流量控制器使用注意?
1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低***、勤清洗、使用得当的条件下,也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时,应在定货时声明,使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平,但对位置并不特别敏感,可以任意位置安装,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体,通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀,以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时,可以通过附录的转换系数进行换算。
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